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    混合电子气体:是用于超大规模集成电路、半导体芯片、液晶显示器、光伏电池、光纤等电子工业应用的气体统称电子气体。主要用于外延、掺杂、刻蚀、气相沉积、扩散等工艺。电子气使用形态有纯气和混合气。